11月21日，在上虞区举行的2025光刻胶及集成电路材料先进技术和产业应用研讨会上，含氟电子新材料产业化项目、高精度射频电源项目、碳化硅涂层件项目等6个产业化项目集中签约，为绍兴集成电路产业高质量发展注入新动能。

　　光刻胶与电子化学品、耗材、封装材料等共同构成半导体制造的“材料基石”，技术壁垒高且国产化需求迫切。谁掌握了关键材料的制备技术，谁就掌握了迈向先进制程的“钥匙”。

　　近年来，上虞积极构建“研发—中试—孵化—产业化”全链条支撑体系，加快集成电路专用设备和关键材料研发。目前，上虞区和浙江大学共建的半导体材料研究中心已攻克12英寸半导体级单晶炉等5项“卡脖子”技术；与天津大学共建的天津大学浙江研究院（绍兴），聚焦电子化学品工艺创新，在ArF浸没式光刻胶研发上持续取得突破；与哈尔滨工业大学共建的集成电路IP工程中心今年9月启用，正在强化底层技术布局。此外，入选全国首批工业和信息化部重点培育中试平台的国科新材料中试基地，已签约实施10余个半导体项目。该区还着力打造杭州湾联合创新中心等创新平台，在杭州湾上虞经开区布局光刻胶、湿电子化学品、封装材料等关键赛道，同时建设装备及辅材、耗材产业园，拓展产业空间。

　　如今，上虞区在光刻胶、电子化学品、装备与耗材、封装材料等领域均取得重大突破，如八亿时空建成了国内首条百吨级KrF光刻胶树脂量产线，中化蓝天率先实现PVDF（聚偏氟乙烯）进口替代，诺亚的电子氟化液产品已成功突破国外垄断，晶盛机电在碳化硅、高纯石英坩埚等领域持续保持领先优势。一条从装备到材料的本地化产业链正在上虞区加速成形。截至目前，该区半导体材料与装备企业已达23家，预计今年产值将突破200亿元。

　　这次签约的6个产业化项目，同样意义重大，如含氟电子新材料产业化项目致力于半导体工业清洗剂、数据中心冷却液等六大产品系列的研发生产，高精度射频电源项目致力于解决半导体设备中电源的“卡脖子”问题等，均有利于上下游产业集聚升级。

　　杭州湾上虞经开区负责人表示，将由易到难，梯次突破，优化产业生态，高标准打造省级特色产业集群协同区和国家级电子化学品产业基地。

摘自《绍兴日报》